Microscopio electrónico de transmisión de barrido para la obtención de imágenes y la espectroscopia de materiales sensibles a los haces.

Para optimizar realmente las imágenes TEM y STEM, EDX y EELS pueden requerir la adquisición de diferentes señales a diferentes voltajes de aceleración. Las reglas pueden variar de una muestra a otra, pero en general se acepta que 1) las mejores imágenes se obtienen a la tensión de aceleración más alta posible por encima de la cual se producirá un daño visible, 2) EDX, especialmente cuando se realizan mapas, se beneficia de tensiones más bajas con mayores secciones transversales de ionización, lo que produce mejores mapas de relación señal-ruido para una dosis total dada, y 3) EELS funciona mejor a tensiones altas para evitar la dispersión múltiple, que degrada la señal EELS con el aumento del grosor de la muestra.